灭菌前，不需要对空间进行除湿处理，在15到35⁰C、35%到75%的相对湿度环境下就可以开始灭菌，而绝大多数被灭菌环境都能满足此要求。机器设计和维护保养就相应简单，可靠性高

灭菌前，需要对空间进行除湿处理。这会导致灭菌前准备时间长，从而灭菌周期也延长；机器设计和维护保养都相应变得复杂，可靠性低

使用成本低

l 只需要量不多的30%分析纯级过氧化氢溶液就能对较大空间进行6Log级别灭菌；

l 灭菌时H2O2气体浓度并不高（一般低于1000ppm），对空间材料、电子电路等兼容性好。有FDA的对比研究报告做证明。

使用成本高

l 需要注入大量的过氧化氢溶液，维持较长时间，才能到达相应的灭菌效果；

l 灭菌过程中，气体浓度一般在1000ppm以上，对材料腐蚀性相应就增强。

灭菌效果稳定可靠，一致性好

l 微冷凝过程可将分子运送到灭菌物体表面，快速杀灭细菌孢子；

l 2—6微米的灭菌覆盖层是不可见的一个物理化学过程，能有效清除任何表面及悬浮粒子上的微生物；

l 研究证明，微冷凝过程对表面灭菌是最适宜和最有效的，也是最快速的。在达到凝露点前，D值是120分钟，形成微冷凝后D值是1.08分钟。

灭菌效果的一致性差。因为:

l 靠H2O2气体分子随机碰撞接触到灭菌物体表面来杀菌，因而灭菌效果也就靠撞击到细菌/孢子的分子数来决定；

l 灭菌时间长